1、引言

　　當今，具有智能傳感器技術(shù)撿測頭的呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀已經(jīng)聞世，這就比較理想地解決了對各種情感和呼吸之間聯(lián)系作大量研究的問題，并且可以用來真實紀錄一個人的呼吸狀況及其變化。

　　在此本文對呼吸監(jiān)視儀中用微型傳感器-硅壓阻式傳感器（SPRT）與MAX1450或MAX1457信號調(diào)理器組成新型智能傳感器及在技術(shù)方案中的功能作一個分析與介紹。

　　2、呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀與智能傳感器及技術(shù)（其組成框圖，見圖1所示）

　　2.1呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀（見圖1下面所示）

　　該監(jiān)視儀的用途是用來監(jiān)視呼吸狀況，并能給出大致的呼吸深度。這個監(jiān)測儀監(jiān)測一些可以用來評價焦慮程度的重要參數(shù)：呼吸頻率、呼吸的均勻程度以及呼氣和吸氣之間的間歇。平靜、積極的情緒通常會導致呼出長于吸入，二者時間之比的參數(shù)，能從一個方面揭示人的焦慮程度。相對較高水平的胸呼吸（相對于腹呼吸）也可說明焦慮程度。監(jiān)視儀對胸呼吸的觀察反映出監(jiān)視儀具有大量的可視信息功能。

　　2.2智能傳感器技術(shù)

　　圖1中的呼吸監(jiān)視儀采用硅壓阻式傳感器（SPRT—Silicon piezoresistance transducer）檢測吸入與呼出時對應壓力的降低和增加。SPRT的輸出被饋入一個MAX1450或MAX1457信號調(diào)理器芯片，而MAX1450或MAX1457信號調(diào)理器芯片又對SPRT的進行驅(qū)激勵（或用電流源激勵），其SPRT固有誤差又被饋入MAX1450或MAX1457之后并被校正，然后將經(jīng)過補償?shù)碾妷盒盘査腿刖哂?2位的模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC）MAX1202。ADC輸出（數(shù)字化的壓力信號）進入一個PC接口MAX3232，并被轉(zhuǎn)換為RS-232電平。最后信號被傳遞到PC機系統(tǒng)，這樣就可以顯示出呼吸波形，并對以上所述參數(shù)進行分析。

　　3、關(guān)于硅壓阻式傳感器（SPRT）

　　3.1硅壓阻式傳感器（SPRT）檢測原理

　　硅壓阻式傳感器一般配置為一個緊密的惠斯登電橋。當有壓力施加到SPRT的敏感電橋的橋臂時（見圖2a所示），對角橋臂的電阻值R將發(fā)生相同方向、相同大小的改變，即R+△R和R-△R。當一個對角橋臂上的兩個電阻值在壓力的作用下增加時，另外一個對角橋臂的電阻值降低，反之亦然。對于SPRT半敏感電橋（見圖2b所示），則只有半邊橋臂的電阻值發(fā)生改變。不管是全橋還是半敏感電橋的傳感器都具有高靈敏度（》10mv/v）、良好的線性、溫度穩(wěn)定性及無信號滯回等優(yōu)點，其測量范圍可上至破壞性極限。

　　3.2硅壓阻式傳感器-傳感器的應用

　　當今，由于新的IC技術(shù)已經(jīng)能夠精確校準SPRT，所以將硅壓阻式傳感器應用范圍從中、低精度檢測擴展到高端領(lǐng)域。彌補了以往SPRT通常只能用于中、低精度檢測，而對高端產(chǎn)品非要采用昂貴的應變計等不足之處。但要應用硅壓阻式傳感器必須解決誤差補償-校準技術(shù)，才能提高精度。為此，首要的是應對硅壓阻式傳感器的誤差作分析。

　　4、關(guān)于硅壓阻式傳感器-傳感器（SPRT）誤差

　　校準SPRT傳感器的主要困難在于它們的誤差幅度范圍很寬，采用不同工藝生產(chǎn)的SPRT傳感器具有不同類型的誤差和誤差范圍。甚至由同一個制造商提供的同一型號傳感器的誤差幅度，兩者之間也會有輕微的差異。SPRT傳感器的誤差因素包括：滿偏信號隨溫度變化的強烈非線性（高達1%oK）;很大的初始失調(diào)（可至滿偏的100%或更高）以及失調(diào)隨溫度的強烈漂移等。在一定限度內(nèi)，這些缺陷可以由電子電路加以補償。

　　一定溫度下，圖2（a）（b）所示的兩種類型SPRT橋路電阻（Vcc和地之間的等效電阻）能夠在很寬的壓力范圍內(nèi)保持相當?shù)暮愣?，然而，隨著溫度的上升，橋路電阻顯著增加，如果電橋由恒流源驅(qū)動，橋路電壓（指Vcc和地之間的等效電阻與恒流源輸出電流的乘積）就會增加。當橋路電壓隨著溫度的升高而增大時，則SPRT靈敏度也隨之升高。另一方面，如果保持橋路電壓恒定，SPRT的壓力靈敏度又會隨著溫度的升高而降低。因此，SPRT的壓力靈敏度受兩種互相對立的因素影響：溫度和受溫度影響的橋路電壓。這種橋路電阻或橋路電壓的變化可以彼現(xiàn)代信號調(diào)理電路IC加以利用，來校正SPRT靈敏度在溫度范圍內(nèi)的誤差。值得一提的是，此類信號調(diào)理電路IC均可通過橋路電阻的變化來校正靈敏度隨溫度的改變。根據(jù)SPRT產(chǎn)生誤差的主要因素的分析，便可有的放矢地進行校正與補償。以下將對目前常用的傳統(tǒng)校正與現(xiàn)代校正及簡化補償方法作介紹。

　　5、傳統(tǒng)校正方法

　　圖3電路為傳統(tǒng)校正方案

　　它可以補償SPRT精度至適當水平，并可以對SPRT失調(diào)、失調(diào)的溫度漂移（OFFSETTC）以及SPRT靈敏度的溫度漂移進行調(diào)整。而與SPRT靈敏度溫度漂移相關(guān)的是滿偏榆出（FSO）的溫度漂移，這兩個參數(shù)（指SPRT靈敏度溫度漂移與滿偏榆出的溫度漂移）的溫度特性互成正比，電路中的調(diào)零電阻Rjz用來補償傳感器在室溫下的失調(diào)電壓，溫度敏感電阻Rts和Rtz（或R‘’tz）用于校正溫度誤差。前面提到，橋路電阻隨著溫度上升而增加，使傳感器兩端的電壓Vo+Vo-（）也增加，這個增加的電壓△Vo+Vo-會使傳感器的靈敏度上升，也就是說，在給定壓力下它將輸出更高的電壓。

　　然而，如果保持傳感器兩端電壓恒定，傳感器的靈敏度就會隨著溫度的上升而降低（或稱負向靈敏度系數(shù)），但因為橋路電阻受溫度影響而增加時，它所引起的靈敏度正向變化系數(shù)是大于負向靈敏度系數(shù)，所以，滿偏輸出（FSO）趨向于隨著溫度增加而增加。電阻器Rts可以在溫度上升時旁路掉一部分橋路電流，從而抵消上述效應。類似地，Rtz或R‘’tz可對失調(diào)的漂移進行校正。電路中選擇Rts還是R‘’tz取決于失調(diào)的溫度漂移方向。

　　這種傳統(tǒng)校正方法的優(yōu)點是程式簡單、廉價，但主要問題是各個補償元件之間互相影響，使校準非常困難，并限制了所能達到的精度，該校正技術(shù)也不便于采用電子調(diào)整。

　　6、現(xiàn)代校正-補償技術(shù)

　　由于SPRT的誤差幅度范圍很寬，因而必須要用通過現(xiàn)代與簡化補償法來校準。目前現(xiàn)代校正-補償技術(shù)是采用MAX145新型信號調(diào)理芯片與SPRT的組合，即成智能傳感器與技術(shù)。

　　用一片信號調(diào)理MAXl457 IC以驅(qū)動呼吸監(jiān)視儀的硅壓阻式傳感器（SPRT），并校正傳感器的誤差。MAXl457它帶一個用于驅(qū)動傳感器的受控電流源和一個用以采樣傳感器橋路電壓的ADC（模數(shù)轉(zhuǎn)換器）。

　　MAXl457還包括一個可編程增益放大器（PGA），用于放大傳感器的差分輸出;以及5個數(shù)DAC（數(shù)模轉(zhuǎn)換器），用于校正各種不同的傳感器誤差。由于傳感器輸出的是微弱信號，PGA的輸出電壓還不足以驅(qū)動ADC。為此，MAXl457的內(nèi)置運放可用來提升PGA的輸出至合適的電平。

　　由于橋路電壓隨溫度而上升，這種溫度相關(guān)性可以用來補償滿偏輸出（FSO- Full span output）的溫度誤差。對于恒流源激勵電橋，滿偏輸出（FSO）隨著溫度上升而下降，造成了滿偏輸出的溫度相關(guān)誤差（FSOTC）。然而，如果使橋路電壓隨著溫度以一定的速率上升，恰好補償?shù)魸M偏靈敏度隨溫度的下降，則滿偏輸出（FSO）將保持恒定。

　　6.1MAXl457如何利用這種方法校正溫度引起的滿偏輸出（FSO）誤差（見圖4所示）。

　　首先，由ADC對橋路電壓進行量化，根據(jù)量化結(jié)果，找出一個預先計開算好的四種校正系數(shù)（己保存于EEPROM內(nèi)）送人FSOTC DAC。然后DAC輸出電壓對橋路激勵電流進行調(diào)整，調(diào)整后的激勵電流改變了橋路電壓，從而補償了特定溫度下，因傳感器的靈敏度改變造成的滿偏輸出（FSO）誤差。為實現(xiàn)平滑校正，橋路電壓被用作FSOTC DAC的參考輸入，在相鄰兩個數(shù)字補償點（由ADC提供給EEPROM）之間進行模擬補償。同樣的方法被用于補償失調(diào)的溫度漂移（OFFSETTC），所不同的是，OFFSETTC DAC的輸出電壓被饋人PGA輸出端的求和節(jié)點（而不是MAX1457的電流源）。

　　6.2對上述四種溫度校正系數(shù)的計算步驟的說明

　　首先，將傳感器和MAXl457置于最低溫度獲取不同壓力下的傳感器數(shù)據(jù)，然后，再將傳感器和MAXl457置于最高溫度下獲取不同壓力下的傳感器數(shù)據(jù)。利用這些極限溫度點的數(shù)據(jù)，專為MAXl457設(shè)計的應用軟件可計算出四種校正系數(shù)：滿偏輸出（FSO）、滿偏輸出的溫度相關(guān)誤差（FSOTC）、偏移-失調(diào)（Offset）、失調(diào)的溫度偏移（OFFSETTC），這四種系數(shù)可以修正SPRT的一階誤差。

　　為獲得0.1%的精度，MAXl457允許在特定溫度進行補償，只需對每個規(guī)定溫度計算FSOTC和OFFSETTC由用戶決定校準點的數(shù)量（最多至120點）。如果傳感器誤差具有良好的可重復性，此種SPRT與MAXl457組合可獲得優(yōu)于0.1%的精度。

　　MAXl457的補償技術(shù)相對于圖3所示的傳統(tǒng)方法具有明顯優(yōu)勢。MAXl457消除了補償元件之間的相互影響，這得益于相互獨立的失調(diào)和滿度調(diào)整：失調(diào)在PGA輸出端進行補償，而FSO的修正通過電流源實現(xiàn)。另一個好處是，由于針對不同溫度點進行特定修正，獲得更高的精度成為可能。這種方法本質(zhì)上優(yōu)于采用外部電阻的方式，因為后者無法在特定溫度點對傳感器進行精確補償。

　　由于MAX1457所提供的精度可遠高于一個呼吸監(jiān)視儀的要求，之所以選擇它，主要是因為它內(nèi)部還包含一個附加的運放，可以對呼吸監(jiān)視儀傳感器的低電平信號進行放大。由于MAX1457使監(jiān)視儀可以工作在很寬的溫度范圍，應用SPRT和MAX1457組合可獲得優(yōu)異的精度，為此它能應用于空間探測及潛水呼吸器等領(lǐng)域。

　　7、實用的簡化校正方案

　　正因為MAX1457所提供的精度可遠高于一個呼吸監(jiān)視儀的要求，所以沒有必要采用16位分辨率的DAC進行校正。通?？刹捎肕AX1450信號調(diào)理器的簡化校補償方案（見圖5所示）。

　　7.1MAX1450信號調(diào)理器

　　它的功能本質(zhì)與MAX1457相同，只是用電阻代替DAC來進行誤差校正。

　　因MAX1450采用比MAX1457少得多的校準點，其精度為1%。通常被用于混合方案，該方案將MAX1450和激光微調(diào)電阻（圖5所示的外接微調(diào)電阻）相結(jié)合提供了一種低成本的解決方案， 即用MAX1450信號調(diào)理器配合外部激光微調(diào)電阻可提供1%精度。調(diào)整圖5中的RFSOA微調(diào)電阻用來設(shè)定初始（FSO）靈敏度，而失調(diào)溫度漂移（OFFSETTC）的補償是通過ROFFA和ROTCA微調(diào)電阻的調(diào)整來實現(xiàn)。

　　7.2MAX1450引腳功能的介紹：

　　A0程控放大器（PGA）增益設(shè)置最低位輸入;A1程控放大器增益設(shè)置;A2程控放大器（PGA）增益設(shè)置最高位輸入;SOTC程控放大器電流過流控制開關(guān);SOFF程控放大器電源關(guān);OFFTC溫度偏移校正輸入;OFFSET偏移輸入;BBUF帶緩沖電橋電壓輸出;FSOTRIM電橋驅(qū)動電流設(shè)置輸入;

　　OUT程控放大器輸出電壓;ISRC電流源基準;BDRIVE激勵電流輸出;INM傳感器負信號輸出;INP傳感器正信號輸出;VDD電源電壓;VSS地。

　　8、結(jié)束語

　　由于新的信號調(diào)理器IC技術(shù)的發(fā)展，已經(jīng)能夠精確校準SPRT誤差，壓阻式傳感器除了在醫(yī)用領(lǐng)域中應用外，還可拓寬到其它工業(yè)安全以及軍事領(lǐng)域等高端產(chǎn)品之中。這從上述幾種設(shè)計方案可看出，通過應用硅壓阻式傳感器（SPRT）與MAX1450、MAX1457等信號調(diào)理器芯片所組成的智能傳感器使研發(fā)的新型呼吸監(jiān)視儀具有精度高、成本低、技術(shù)成熟的特點，也證明了在高端產(chǎn)品中無需要用昂貴的應變計的設(shè)想是可以實現(xiàn)的。